307 Bayard-Alpert真空计控制器307系列真空计控制器

307 Bayard-Alpert真空计控制器

Bayard-Alpert离子计

Convectron 真空规

TC真空规

Granville-Phillips 307系列真空计控制器(VGC)可测量压力，并充分利用压力相关输出来控制一系列真空系统功能和工艺。为了适应各种不同的需求和应用场合，307控制器提供了不同的配置和价格。对于简单的配置，307控制器仅运行一个电离规(IG)测量从1×10 -10到1×10-1Torr压力范围。利用选项模块，307控制器可控制四个规管，测量范围从2×10-11Torr至大气的压力，并有六个过程控制设定点可用。

特点

能够测量系统或工艺中多达四个位置处的压力。

保守设计提升了可靠性，并有质保体系做后盾。

节约空间的组件设计仅占有常规机架宽度的一半。

独一无二的改进设计可带来以下益处

通过使用两个相继工作的电离规和或者两个Convectron规或两个热偶规，或使用二个Convectron规加一个电容薄膜规，可以测量系统或工艺中多达四个位置处的压力。

极其出色的系统控制：提供多达六个过程控制设置点，并可以在预先选择的压力下自动或手动启用。

增强的可靠性：采取保守设计，明显降低组件故障的可能性。独立电源可远程布置显著降低操作温度。目前，这款久经验证的设计由Brooks质保体系提供支持。

更强大的安全性：控制单元仅使用低压电路，显著降低触电危险。

明显改进的经济性：模块化设计支持用户仅购买所需功能，并在将来轻松升级。

节约面板空间：307控制单元仅占用常规机架宽度的一半，由于无通风，因此可以更高效地利用控制单元的上下空间优势。

更精确的压力测量

显著提高的压力测量准确度通过控制发射电流，保持i=温度稳定，从而使散热及其影响，放气作用和壁电都保持稳定，否则这些因素将明显影响压力的读数。

为了扩展的压力范围测量能力和/或延长规管寿命，您可以调整发射电流。

电磁场辐射抗干扰度

控制单元和电源之间以及与规管的连接均使优质的屏蔽电缆。

为了有助于防止电气干扰，重要连接处采用RF过滤器。

通过移除控制单元附近的电源，使仪器机箱内的温度上升速度减缓，从而减少电路漂移并提高压力涙量的准确度。

使用Convectron规进行的压力测量在大多数情况下不受温度变化的影响。温度补偿设备将监控传感丝周围的气体温度，而不是监控远离的外壁温度。

每个Granville-Phillps Convectron规管在发货之前，均会分别经过校准，大部分测量范围内的读数误差控制在±2%以内。

要提高压力测量的准确度，可以按规管校准特性简单调整灵敏度，与发射电流无关。

研究数据表明，B-A规的不准确率为30%至40%，尽管307真空规控制器能够非常精准地测量离子流，但上述不准确率是B-A型电离规所固有的缺陷，任何电离规控制器均无法持续加以弥补。

明显改进的经济性

轻松的自定义一旨在允许您仅购买当前应用所需的模块。

轻松的现场升级支持您以合理的成本获得更多复杂功能。

小尺寸（仅占机架宽度的一半）可节约宝贵的面板空间。

低功耗的控制单元允许安装其他仪器，因此无需额外留出通风空间。

很大程度地缩短停机时间：

借助故障指示灯的帮助查找故障电路。

由于毎个主板均主要包含与其功能相关的电路，因此有助于您轻松安排库存。

可轻松更换的模块支持快速进行现场修复。

出色的控制

使用多达六个设定点增强过程继电器，电离规有两个，两个Convectron或热偶规各两个。

可用的Convectron或热偶规功能支持在预先选择压力的设定下自动点亮电离规。

设定点可手动干预设置便于系统建立和维护。

设置点时激活设置点的状态将显示在前面板上可以使用用户自定义的标签加以识别。

Convectron规管通过在真空中分别精细调整归零，其下限为l×10-4Torr，因此它更适用于过程控制如1×10-3Torr范围内的溅射。

增强的可靠性

停电保护：所有设定点都存于非易失性存储器内，因此即更停电或电压不稳，亦可成功保存设定信息。过程控制操作具有可选择的继电器状态，使用户能够定义停电条件。当电源恢复时，如果自动IG的打开/关闭控件正处于使用状态，则IG将返回到“on”的状态。

内置的损坏保护：

保护控制器，免受规管的特殊电路的短路影响。

保护规管，免受过压损坏。

由于构建的等离子区可使控制单元在不受损坏的情况下关闭，因此电弧保护会在除气期间启动。

由于使用远程电源可以显著降低操作温度，因此将明显减少组件出现故障的可能性。

内置的锁定监控器可持址进行径杏，并自动恢复软件相关的故障。

更强大的安全性

灯丝电源关闭时，电离规电极中不存在危险的高压。

远程电源可很大限度地降低触电危险；控制单元内部以低干35伏的直流电(峰值)运行。

采用封闭式线缆连接接头与电离规收集极相连，明显降低接触收集极引线的危险，这一功能十分重要，因为如果接地不正确，收集极会在栅极电压上下浮动。

采用防篡改设计，避免未经授权的操作：

前面板盖可以锁定，有助于保护未经授权擅自篡改子面板控件上已编程的重要数据。

远程I/ O面板支持您使前面板电离规和除气控件无法操作。

便捷的多点测量读数

通过并排安装两个控制单元，可以在一个紧凑的区域内同时显示六组压力读值，每个控制单元均可测量系统中多达四个点的压力。

技术规格