- 冷阴极皮拉尼复合真空计MPG401,
详细信息
型号:MPG401, 加工定制:否 冷阴极皮拉尼复合真空计
INFICON反磁控管皮拉尼复合真空计,MPG400 和 MPG401,测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力(3.8 x 10-9 Torr 至大气压力)。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中,显著降低了安装、设置和集成的复杂性。
特点
复合真空计 – 冷阴极和皮拉尼
5 X 10-9 mbar 至大气压的极宽测量范围
倒磁控管没有灯丝,不会出现丝极烧毁的现象
卓越的点火属性
易清洗
FPM 或金属密封馈入装置
LED 指示器,高压时亮起
对数模拟输出信号
应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制
技术规格
型号
密封MPG400
FPM密封MPG401
金属密封测量范围 5 × 10E-9至1000 mabr 精度(N2) 10E-8至100 mbar
≈±30%读数重复性 ≈±5%读数 输出信号(电压)
0至+10.5V
电源电压
功率+15至+30Vdc
≤2 W电气连接件
FCC 68/RJ45网口,8脚屏蔽工作温度 +5至+55℃ 安装方位 任何 防护等级 IP40 订购资料
型号
密封MPG400
FPM密封MPG401
金属密封KF25 351-010 351-020 KF40 351-011 351-021 CF40 351-012 351-022
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