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- 高精度电容薄膜真空计CDG025D电容膜片真空计
详细信息
型号：CDG025D电容膜片真空计 加工定制：否 高精度电容薄膜真空计
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.独特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。
特点
满量程范围从0.1乇至1000乇
通电后快速稳定性
暴露大气压的快速恢复性
抗腐蚀的陶瓷传感器
优秀的长期信号稳定性
温度补偿
传感器有防污染保护
一键调零功能
宽范围电源
两个设点 (可选)
RS232 接口 (可选)
应用
半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD
数据存储和OLED,LCD制造设备
工业真空设备
混气实验设备
一般高精度压力测量
技术规格（基于Torr的标准产品）
满量程范围（Torr） 1000 100 10 1 0.1 精度
（ 在25°C环境工作温度下运行两小时后无非线性,滞后性,再现性的温度效应）0.2%读数 0.5%读数 温度效应
在零点
在满量程
0.005%满量程/℃
0.01%读数/℃
0.015%满量程/℃
0.01%读数/℃
0.02%满量程/℃
0.02读数/℃分辨率 0.003%满量程 *大压强（绝对压力） 400Kpa 260Kpa 130Kpa 响应时间 30ms 130ms *低压强读值 0.01%满量程 *低建议压强 0.05%满量程 *低建议控制
压强（排气节流阀联控时）0.5%满量程 电源电压
功率+14至+30Vdc
≤1 W输出信号 0至+10V模拟量 电气连接件 D-sub 15针 工作温度 +5至+50℃ 烘烤温度 ≤110℃法兰处（未运行） 安装方位 垂直
水平（要求）防护等级 IP30 1.其它满量程请咨询
2.设定点继电器,RS232C仅CDG025D-S
订购资料
CDG025D,温度补偿型
满量程范围 1/2"英寸管 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8VCR 1000Torr 375-000 375-001 375-002 375-003 100Torr 376-000 376-001 376-002 376-003 10Torr 377-000 377-001 377-002 377-003 1Torr 378-000 378-001 378-002 378-003 0.1Torrr 379-000 379-001 379-002 379-003 CDG025D-S,2个设定点,RS232接口,温度补偿型
满量程范围 1/2"英寸管 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8VCR 1000Torr 133KPa 1333mbar 375-300 375-301 375-302 375-303 110Kpa 1100mbar 375-500 375-501 375-502 375-503 200Torr 26.6Kpa 267mbar 382-300 382-301 382-302 382-303 100Torr 13Kpa 133mbar 376-300 376-301 376-302 376-303 10Kpa 100mbar 376-500 376-501 376-502 376-503 20Torr 2.66Kpa 26.7mbar 383-300 383-301 383-302 383-303 10Torr 1.3Kpa 13mbar 377-300 377-301 377-302 377-303 1Kpa 10mbar 377-500 377-501 377-502 377-503 1Torr 133Pa 1.3mbar 378-300 378-301 378-302 378-303 100Pa 1mbar 378-500 378-501 378-502 378-503 0.25Torr 33.3Pa 0.33mbar 385-300 385-301 385-302 385-303 0.1Torrr 13.3Pa 0.13mbar 379-300 379-301 379-302 379-303 10Pa 0.1mbar 379-500 379-501 379-502 379-503
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