• 数字式质量流量控制器VIC-D200系列数字式MFC

    详细信息

     加工定制:否  型号:VIC-D200系列数字式MFC  测量范围:01  
    数字式质量流量控制器

    数字式质量流量控制器-橡胶密封

    VIC-D200系列数字式MFC,产品同时支持传统模拟量和RS485数字信号,满足大部分气体控制的通用需求,气体通路为不锈钢材质,适用于所有气体或高压环境。

    特点

    全测量区间内响应速度≤1秒

    Teflon密封,对有毒及腐蚀性气体耐久性强

    没有DISK变形,半永久使用保障

    适用浪涌和过电压的内部电路设计

    维持准确度,温度变化不敏感


    技术规格

    型号 VIC-D210 VIC-D220 VIC-D230 VIC-D240 VIC-D245
    流量范围(N2基准) 5sccm ~ 1.5slm 1.5slm~50slm 50slm~100slm 100slm~200slm 200slm~400slm
    流量控制范围 2 ~ 100%满量程
    精度 ≤1%满量程
    响应速度 ≤1秒(10~100%满量程) ≤1.2秒
    重复性 ≤0.2%满量程
    阀门类型 常闭阀
    密封种类 Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
    电气连接及信号 9针D-Sub公头
    模拟:0-5VDC或4-20mA
    数字:RS485
    电源 +15VDC~+24VDC
    操作温度 操作温度:5-50℃(推荐15~35℃)
    预热时间 15分钟(准确度保证:30分钟)
    法兰连接 1/8"~1/2"LOK或VCR(根据型号)
    重量 0.95Kg 0.97Kg 1.33Kg 1.87Kg 3.3Kg

    产品尺寸

    流量压力事项

    质量流量控制器订购参数确认单

     








     
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