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- Hicube 系列移动式真空泵Hicube 80 Eco
详细信息
材质：铝合金 驱动方式：气动 型号：Hicube 80 Eco Hicube泵组
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准：新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。 Hicube 真空泵组系列主要分为Hicube ECO（经济型）、Hicube Classic、Hicube Pro三种真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵，极限真空度可达 5 * 10-10mbar。针对特别有限的空间要求，Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 HicubeEco经济型泵组，其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
根据HiPace 涡轮分子泵选择的不同，HiCube真空泵组还可以分为HiCube 80真空泵组系列、HiCube 300真空泵组系列、HiCube 400真空泵组系列、HiCube 700真空泵组系列。
特点
涡轮分子泵和前级泵的完美结合；适合多种应用需求；
模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求；各部件配合简便，易于保养维修；
集成的驱动系统，无需额外的控制系统；“即插即用”-无需布线和安装；
意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响；
可以直接连接真空计
应用
研发
加速器
分析和表面物理学
真空工艺技术
一般真空应用
技术规格
参数
型号
连接法兰
抽速L/S
极限真空mbar
前级泵抽速m3/h
入口
N2
Hicube 80 Eco
KF40
35
10-7
15L/min
Hicube 80 Eco
ISO-K 63
67
10-7
15/min
Hicube 80 Eco
CF63
67
10-7
15L/min
Hicube Classic 法兰连接
抽速L/S
极限真空mbar
前级泵抽速m3/h
入口
N2
MVP040
MVP070
DUO 3
DUO5M
MVP040
MVP070
DUO 3
DUO5M
Hicube 80 Classic
KF40
35
10-7
2.3
3.8
2.9
5
Hicube 80 Classic
ISO-K 63
67
10-8
10-8
5*10-10
5*10-10
2.3
3.8
2.9
5
Hicube 80 Classic
CF63
67
10-7
2.3
3.8
2.9
5
Hicube 300 Classic
ISO-K100
260
10-7
2.3
3.8
2.9
5
Hicube 300 Classic
CF100
260
10-8
10-8
5*10-10
5*10-10
2.3
3.8
2.9
5
Hicube 400 Classic
ISO-K100
355
10-7
2.3
3.8
2.9
5
Hicube 400 Classic
CF100
355
10-8
10-8
5*10-10
5*10-10
2.3
3.8
2.9
5
Hicube 700 Classic
ISO-K160
685
10-7
2.3
3.8
2.9
5
Hicube 700 Classic
CF160
685
10-8
10-8
5*10-10
5*10-10
2.3
3.8
2.9
5
Hicube Pro 法兰连接
抽速L/S
极限真空mbar
前级泵抽速m3/h
入口
N2
ACP
Duo
Pascal
ACP
Duo
Pascal
Hicube 80 Pro
KF40
35
10-7
14/27
9/20
9/18
Hicube 80 Pro
ISO-K 63
67
10-7
14/27
9/20
9/18
Hicube 80 Pro
CF63
67
5*10-10
14/27
9/20
9/18
Hicube 300 Pro
ISO-K100
260
10-7
14/27
9/20
9/18
Hicube 300 Pro
CF100
260
5*10-10
14/27
9/20
9/18
Hicube 400 Pro
ISO-K100
355
10-7
14/27
9/20
9/18
Hicube 400 Pro
CF100
355
5*10-10
14/27
9/20
9/18
Hicube 700 Pro
ISO-K160
685
10-7
14/27
9/20
9/18
Hicube 700 Pro
CF160
685
5*10-10
14/27
9/20
9/18
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