• 电子束光刻胶XR-1541-002/004/00

    详细信息

     型号:XR-1541-002/004/00  加工定制:否   

    产品型号规格如下:

    电子束光刻胶 型号 光源 类型 分辨率 厚度 适用范围
    SU-8  GM1010 电子束 负性 100nm 0.1-0.2 可适用于高宽比较大的纳米结构

    HSQ

    电子束 负性 6nm 30nm-180nm 分辨率较好的光刻胶,抗刻蚀
    XR-1541-002/004/006 电子束 负性 6nm 30nm-180nm 分辨率较好的光刻胶,抗刻蚀
    HSQ FOX-15/16 电子束 负性 100nm 350nm-810nm 分辨率较好的光刻胶,抗刻蚀
    PMMA(国产) 电子束 正性 /   高分辨率适用于各种电子束工艺
    PMMA(进口) 电子束 正性 /
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