- 电子束光刻胶XR-1541-002/004/00
详细信息
型号:XR-1541-002/004/00 加工定制:否 产品型号规格如下:
电子束光刻胶 型号 光源 类型 分辨率 厚度 适用范围 SU-8 GM1010 电子束 负性 100nm 0.1-0.2 可适用于高宽比较大的纳米结构 HSQ
电子束 负性 6nm 30nm-180nm 分辨率较好的光刻胶,抗刻蚀 XR-1541-002/004/006 电子束 负性 6nm 30nm-180nm 分辨率较好的光刻胶,抗刻蚀 HSQ FOX-15/16 电子束 负性 100nm 350nm-810nm 分辨率较好的光刻胶,抗刻蚀 PMMA(国产) 电子束 正性 / 高分辨率适用于各种电子束工艺 PMMA(进口) 电子束 正性 /