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- Kayaku - 光刻胶SU-8 3000系列
详细信息
型号：SU-8 3000系列 加工定制：否 -
产品介绍
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进口Microchem SU-8光刻胶系列，克服了普通光刻胶采用UV光刻深宽比不足的问题，在近紫外光（365nm-400nm）范围内光吸收度很低，且整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致，可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形。
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SU-8光刻胶光刻工艺
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将SU-8光刻胶组分旋涂在基材上，旋涂厚度几至几百微米，涂覆晶圆片经过前烘并冷却至室温，在烘干过程中，优先选择加热均匀且温度控制
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精确的加热板；不能使用鼓风干燥箱，防止因为光刻胶表面优先固话从而阻止内层光刻胶溶剂的挥发，冷却后，将负光掩模与涂覆晶片接触并在汞灯的
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紫外辐射剂量10-250mJ/cm²条件下进行曝光，曝光结束后，选择适合的烘烤温度及时间，将晶片在显影液中浸渍显影，随后用氮气吹干。
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SU-8光刻胶的优点
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1. SU-8光刻胶在近紫外光（356nm-400nm）范围内光吸收度很低，且整个光刻胶 层所获得的曝光量均匀一致，可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形
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