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- Kayaku - 光刻胶AR-N系列
详细信息
型号：AR-N系列 加工定制：否 特点
• 用于掩膜板制作、精细结构加工、激光干涉曝光等
• 感光波段：Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)
• 可得到非常薄且均匀的膜
• 高灵敏度、高分辨率
• 良好的粘附能力，可用于耐干法和湿法刻蚀工艺
• 用于耐刻蚀工艺、电镀、LIGA、MEMS 等 • 感光波段：Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)
• 涂胶厚度从几微米到上百微米，覆盖能力好，图形边缘陡直
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