- KAYAKU Microchem 电子束胶半导体材料 ZEP549A
详细信息
型号:ZEP549A - 超高解析度電子束光阻:ZEP520A
- 超高解析度電子束光阻:ZEP530A
超高解析度電子束光阻:ZEP520A
特性
ZEP520A乃一具有「超高解析度」、「耐乾式蝕刻」特性的非化學增幅型(斷鏈型)負型電子束光阻。
電子束光阻產品表
品名 黏度
(mPa・s)塗佈膜厚(nm)
@2000rpm溶劑 包裝方式 電子束光阻 ZEP520A 11 500 Anisole 1QT瓶 / 100ml瓶 ZEP520A-7 7 300 電子束光阻專用顯影液
品名 特徵 包裝方式 顯影液 ZED-N50 高感度 加侖瓶
耐干腐蚀性8、AZ DX3200P 系列应用于通孔图形的KrF正型光刻胶:AZ DX3200P
9、AZ DX5200P 系列应用于沟槽及通孔图形的超高分辨率KrF正型光刻胶:AZ DX2546P和AZ DX5200P
10、AZ P4000 系列超厚膜高感光度G线标准正型光刻胶AZ P4210 、AZ P4330、AZ P4400、AZ P4620 和AZ P4903
11、AZ 10XT 系列光刻胶应用于电镀工艺的超厚膜,高分辨率I线正型光刻胶:AZ 10XT(220cP)和10XT(520cP)
12、AZ PLP 系列应用于高精度电镀工艺的超厚膜正型光刻胶:AZ PLP-30和AZ PLP-40
13、AZ 顶部防反射涂层材料应用于超高分辨率图形加工的顶部防反射涂层:AZ AQUATAR 、AZ AQUATAR-45 、A
敏感性
高分辨率敏感性
售卖地区
全国
分辨率
高
运输方式
汽运物流
单位
毫升
类型
半导体材料
品名
电子束胶
数量
999 -
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