- 正性电子束胶 ZEP546A 灵敏度高 耐高低温Microchem
详细信息
型号:Microchem - 超高解析度電子束光阻:ZEP530A
超高解析度電子束光阻:ZEP520A
特性
ZEP520A乃一具有「超高解析度」、「耐乾式蝕刻」特性的非化學增幅型(斷鏈型)負型電子束光阻。
電子束光阻產品表
品名 黏度
(mPa・s)塗佈膜厚(nm)
@2000rpm溶劑 包裝方式 電子束光阻 ZEP520A 11 500 Anisole 1QT瓶 / 100ml瓶 ZEP520A-7 7 300 電子束光阻專用顯影液
品名 特徵 包裝方式 顯影液 ZED-N50 高感度 加侖瓶 ZEP520A具L/S=25nm/25nm(FT=50nm)解析能力。
顯影液:ZED-N50
评价样品:用Anisole将ZEP 520 A-7稀释2.1倍超高解析度電子束光阻:ZEP530A
特徵
ZEP530A是一种非化学放大型正型电子束抗蚀剂,具有优异的分辨率和耐干蚀刻性以及宽的工艺余量。
薄膜形成是可能的。電子束光阻產品表
品名 黏度
(mPa・s)塗佈膜厚(nm)
@2000rpm溶劑 包裝方式 電子束光阻 ZEP530A-6 6 200 Anisole 1QT瓶 / 100ml瓶 電子束光阻專用新型顯影液
品名 特徵 包裝方式 顯影液 ZED-N60 超高解析度
宽的工艺余量加侖瓶
常温保存8、AZ DX3200P 系列应用于通孔图形的KrF正型光刻胶:AZ DX3200P
9、AZ DX5200P 系列应用于沟槽及通孔图形的超高分辨率KrF正型光刻胶:AZ DX2546P和AZ DX5200P
10、AZ P4000 系列超厚膜高感光度G线标准正型光刻胶AZ P4210 、AZ P4330、AZ P4400、AZ P4620 和AZ P4903
11、AZ 10XT 系列光刻胶应用于电镀工艺的超厚膜,高分辨率I线正型光刻胶:AZ 10XT(220cP)和10XT(520cP)
12、AZ PLP 系列应用于高精度电镀工艺的超厚膜正型光刻胶:AZ PLP-30和AZ PLP-40
13、AZ 顶部防反射涂层材料应用于超高分辨率图形加工的顶部防反射涂层:AZ AQUATAR 、AZ AQUATAR-45 、A
*小包装量
1
工艺
精湛
单位
毫升 -
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