AR-P 6510 AR-P 6510是在PMMA的基础上开发的厚胶。 另外,厂商可以根据客户的具体需求来生产其他分子量的LIGA工艺用胶。主要用于LIGA工艺和X-Ray 曝光工艺。此类光刻胶型号齐全,厚度从10~250μm不等,图形剖面陡直。
负胶
AR-N 7520AR-N 7500 电子束负胶,高分辨率(30nm),对比度高(> 5),良好的耐等离子刻蚀性能,可以用于混合曝光。灵敏度中等,介于AR-N 7700和PMMA之间。
AR-N 7700 电子束负胶,化学放大胶,高灵敏度,高对比度,良好的耐等离子刻蚀刻蚀性能,可以用于混合曝光。
AR-N 7720 电子束负胶,用于三维曝光工艺。 化学放大胶,高灵敏度,对比度非常小(<1),非常适合制作三维结构;也可以用于衍射光学及全息器件的加工。
X AR-N 7700/30SX AR-N 7
是否支持加工定制
是
材质
液体
发货周期
现货
品质保障
质量过硬
优惠
厂家直销
功能
耐高温,紫外负性剥离光刻胶
特点
具有高深宽比,光刻后可以达到非常好的陡直度,基本垂 直于衬底表面。
产品等级
优级纯GR
管理体系
成熟700/37 化学放大负胶,高分辨率,良好的耐等离子刻蚀能力,适合混合曝光。高灵敏度,灵敏度比AR-N 7700更高。