AR-P 6510 AR-P 6510是在PMMA的基础上开发的厚胶。 另外,厂商可以根据客户的具体需求来生产其他分子量的LIGA工艺用胶。主要用于LIGA工艺和X-Ray 曝光工艺。此类光刻胶型号齐全,厚度从10~250μm不等,图形剖面陡直。
负胶
AR-N 7520AR-N 7500 电子束负胶,高分辨率(30nm),对比度高(> 5),良好的耐等离子刻蚀性能,可以用于混合曝光。灵敏度中等,介于AR-N 7700和PMMA之间。
AR-N 7700 电子束负胶,化学放大胶,高灵敏度,高对比度,良好的耐等离子刻蚀刻蚀性能,可以用于混合曝光。
AR-N 7720 电子束负胶,用于三维曝光工艺。 化学放大胶,高灵敏度,对比度非常小(<1),非常适合制作三维结构;也可以用于衍射光学及全息器件的加工。
X AR-N 7700/30SX AR-N 7700/37 化学放大负胶,高分辨率,良好的耐等离子刻蚀能力,适合混合曝光。高灵敏度,灵敏度比AR-N 7700更高。
配套试剂
(Process chemicals)
类型型号特性
显影液 AR 3是否支持加工定制
是
是否进口
是
材质
液体
品名
光刻胶
服务体系
完善
特点
具有高深宽比,光刻后可以达到非常好的陡直度,基本垂 直于衬底表面。
货源
充足
发货周期
现货
响应速度
快
生产地址
国产、美国、瑞士、日00-26, -35 紫外光