AR 300-44,-46,-47, -475 紫外/电子束光刻胶用 显影液
AR 600-50,-51,-55,-56 PMMA胶用 显影液
定影液 AR 600-60,-61 电子束光刻胶用 定影液
除胶剂 AR 300-70, -72, -73,600-70 紫外/电子束光刻胶用 除胶剂
稀释剂 AR 600-01…09 PMMA胶 稀释剂
AR 300-12 紫外/电子束光刻胶用 稀释剂
增附剂 AR 300-80, HMDS 紫外/电子束光刻胶用 增附剂
SX AR-P 6200NEW! 超高分辨率电子束正胶,通过简单的工艺即可得到10nm甚至更小的结构。超高深宽比(20:1)、超高对比度(>15)。良好的耐干法刻蚀性能,是传统PMMA胶的2倍。可替代ZEP胶,经济实惠,并且采购简单,包装规格多样化。
AR-P617PMMA/MA共聚物 适合目前各种应用需要的电子束光刻胶。灵敏度高,是普通PMMA胶的3~ 4倍,对比度亦高于PMMA。 PMMA/MA共聚物也可以和PMMA通过双层工艺实现lift-off工艺。
PMMA PMMA(AR 300-44,-46,-47, -475 紫外/电子束光刻胶用 显影液
AR 600-50,-51,-55,-56 PMMA胶用 显影液
定影液 AR 600-60,-61 电子束光刻胶用 定影液
除胶剂 AR 300-70, -72, -73,600-70 紫外/电子束光刻胶用 除胶剂
稀释剂 AR 600-01…09 PMMA胶 稀释剂
AR 300-12 紫外/电子束光刻胶用 稀释剂
增附剂 AR 300-80, HMDS 紫外/电子束光刻胶用 增附剂
SX AR-P 6200NEW! 超高分辨率电子束正胶,通过简单的工艺即可得到10nm甚至更小的结构。超高深宽比(20:1)、超高对比度(>15)。良好的耐干法刻蚀性能,是传统PMMA胶的2倍。可替代ZEP胶,经济实惠,并且采购简单,包装规格多样化。
AR-P617PMMA/MA共聚物 适合目前各种应用需要的电子束光刻胶。灵敏度高,是普通PMMA胶的3~ 4倍,对比度亦高于PMMA。 PMMA/MA共聚物也可以和PMMA通过双层工艺实现lift-off工艺。
PMMA PMMA(polymethyl methacrylate)是电子束曝光工艺中常polymethyl methacrylate)是电子束曝光工艺中常