- ❤ 收藏 高温超导薄膜单晶基片SrTiO3
详细信息
型号:SrTiO3
产品型号:
1、AZ 1500系列高感光度标准G线正型光刻胶:AZ1500
2、AZ 6100 系列高感光度高热稳定性G线正型光刻胶:AZ6112、AZ6124、AZ6130
3、AZ 3100 系列高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶:AZ3100
4、AZ GXR-600 系列高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶:AZ GXR-601
5、AZ 5200E 系列应用于Lift-off工艺图形反转正/负可转换型光刻胶:AZ5206E、AZ5214E、AZ5218E和AZ5200NJ
6、AZ MIR-700 系列中高解像度I线正型光刻胶:AZ MIR-701和AZ MIR-703
7、AZ MIR900 系列厚膜高解像度高感光度I线正型光刻胶:AZ MIR-900和AZ MIR-950
8、AZ DX3200P 系列应用于基片规格
尺寸:
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф25 等
或按用户要求特殊加工
厚度:
0.5mm,1.0mm
尺寸公差:
<±0.1mm
厚度公差:
<±0.015mm(特殊要求可达到<±0.005mm)
表面抛光:
单面或双面
取向:
<100> <110> <111> 等;
晶面定向精度:
±0.5°
边缘定向精度:
2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片:
可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra
≤5Å(5µm×5µm)
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