• ❤ 收藏 高温超导薄膜单晶基片SrTiO3

    详细信息

     型号:SrTiO3    
    安智AZ光刻胶,去胶液,显影液等相关产品。
    产品型号:
    1、AZ 1500系列高感光度标准G线正型光刻胶:AZ1500
    2、AZ 6100 系列高感光度高热稳定性G线正型光刻胶:AZ6112、AZ6124、AZ6130
    3、AZ 3100 系列高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶:AZ3100
    4、AZ GXR-600 系列高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶:AZ GXR-601
    5、AZ 5200E 系列应用于Lift-off工艺图形反转正/负可转换型光刻胶:AZ5206E、AZ5214E、AZ5218E和AZ5200NJ
    6、AZ MIR-700 系列中高解像度I线正型光刻胶:AZ MIR-701和AZ MIR-703
    7、AZ MIR900 系列厚膜高解像度高感光度I线正型光刻胶:AZ MIR-900和AZ MIR-950
    8、AZ DX3200P 系列应用于

    基片规格

    尺寸:

    10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

    Ф15,Ф20,Ф25 等

    或按用户要求特殊加工

    厚度:

    0.5mm,1.0mm

    尺寸公差:

    <±0.1mm

    厚度公差:

    <±0.015mm(特殊要求可达到<±0.005mm)

    表面抛光:

    单面或双面

    取向:

    <100>  <110>  <111> 等;

    晶面定向精度:

    ±0.5°

    边缘定向精度:

    2°(特殊要求可达1°以内)

    斜切晶片:

    可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片

    Ra

    ≤5Å(5µm×5µm)

    通孔图形的KrF正型光刻胶:AZ DX3200P
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