- 氧化MgO单晶基片MIR-950
详细信息
型号:MIR-950
4、AZ GXR-600 系列高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶:AZ GXR-601
5、AZ 5200E 系列应用于Lift-off工艺图形反转正/负可转换型光刻胶:AZ5206E、AZ5214E、AZ5218E和AZ5200NJ
6、AZ MIR-700 系列中高解像度I线正型光刻胶:AZ MIR-701和AZ MIR-703
7、AZ MIR900 系列厚膜高解像度高感光度I线正型光刻胶:AZ MIR-900和AZ MIR-950
8、AZ DX3200P 系列应用于通孔图形的KrF正型光刻胶:AZ DX3200P
9、AZ DX5200P 系列应用于沟槽及通孔图形的超高分辨率KrF正型光刻胶:AZ DX2546P和AZ DX5200P
10、AZ P4000 系列超厚膜高感光度G线标准正型光刻胶AZ P4210 、AZ P4330、AZ P4400、AZ P4620 和AZ P4903
11、AZ 10XT 系列光刻胶应用于电镀工艺的超厚膜,高分辨率I线正型光刻胶:AZ 10XT(220cP)和10XT(520cP)
12、AZ PLP 系尺寸:
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″等
厚度:
0.5mm,1.0mm
尺寸公差:
<±0.1mm
表面抛光:
单面或双面
取向:
<100> <110> <111>
晶面定向精度:
±0.5°
边缘定向精度:
2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片:
可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
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