• 氧化MgO单晶基片MIR-950

    详细信息

     型号:MIR-950    
    3、AZ 3100 系列高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶:AZ3100
    4、AZ GXR-600 系列高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶:AZ GXR-601
    5、AZ 5200E 系列应用于Lift-off工艺图形反转正/负可转换型光刻胶:AZ5206E、AZ5214E、AZ5218E和AZ5200NJ
    6、AZ MIR-700 系列中高解像度I线正型光刻胶:AZ MIR-701和AZ MIR-703
    7、AZ MIR900 系列厚膜高解像度高感光度I线正型光刻胶:AZ MIR-900和AZ MIR-950
    8、AZ DX3200P 系列应用于通孔图形的KrF正型光刻胶:AZ DX3200P
    9、AZ DX5200P 系列应用于沟槽及通孔图形的超高分辨率KrF正型光刻胶:AZ DX2546P和AZ DX5200P
    10、AZ P4000 系列超厚膜高感光度G线标准正型光刻胶AZ P4210 、AZ P4330、AZ P4400、AZ P4620 和AZ P4903
    11、AZ 10XT 系列光刻胶应用于电镀工艺的超厚膜,高分辨率I线正型光刻胶:AZ 10XT(220cP)和10XT(520cP)
    12、AZ PLP 系

    尺寸:

    10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

    Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″等

    厚度:

    0.5mm,1.0mm

    尺寸公差:

    <±0.1mm

    表面抛光:

    单面或双面

    取向:

    <100>  <110>  <111>

    晶面定向精度:

    ±0.5°

    边缘定向精度:

    2°(特殊要求可达1°以内)

    斜切晶片:

    可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片

    Ra:

    ≤5Å(5µm×5µm)

    列应用于高精度电镀工
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