• 苏打基材 石英基材EZ8-S

    详细信息

     型号:EZ8-S    
    正型光刻胶:AZ DX3200P
    9、AZ DX5200P 系列应用于沟槽及通孔图形的超高分辨率KrF正型光刻胶:AZ DX2546P和AZ DX5200P
    10、AZ P4000 系列超厚膜高感光度G线标准正型光刻胶AZ P4210 、AZ P4330、AZ P4400、AZ P4620 和AZ P4903
    11、AZ 10XT 系列光刻胶应用于电镀工艺的超厚膜,高分辨率I线正型光刻胶:AZ 10XT(220cP)和10XT(520cP)
    12、AZ PLP 系列应用于高精度电镀工艺的超厚膜正型光刻胶:AZ PLP-30和AZ PLP-40
    13、AZ 顶部防反射涂层材料应用于超高分辨率图形加工的顶部防反射涂层:AZ AQUATAR 、AZ AQUATAR-45 、AZ AQUATAR-Ⅲ-45和 AZ AQUATAR-Ⅵ
    14、Non PFOS和Non PFOA的顶部防反射涂层
    15、AZ 底部防反

    "X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”

    450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm

    *大尺寸(mm)

    850*1200

    特殊尺寸(mm)

    按客户要求定做(XY=20~609mm)

    基材厚度(mm)

    1.6  2.3 3.0  4.8   7.8   8.0

    2.3  3.0  5.0    6.4    8.0

    铬膜类型

       ARC Anti-Reflective Chrome

    热性能(℃)

    710℃

    1730℃

    温度收缩系数

    8.1*10ˉ6(20~200 ℃)

    5.0*10-7 /℃ (20~200℃)

    透过率

    >90%(T=2.3mm;l=400nm)

    >90%(T=2.3mm;l=200nm)

    折射率

    1.52

    1.46

    垂直入射反射率

    约8%(片面反射约4%)

    约2%(片面反射约1%)

    耐酸性能

    H2SO4(80℃,99%) 0.1Å/min

    H2SO4(80℃,98%) 0.0Å/min

    耐碱性能

    NaOH(Wt2%)0.8Å/min

    NaOH(Wt2%)0.4Å/min

    表面平整度

    <20um(400*400*3.0mm)

    射涂层材料:AZ BARLi-Ⅱ、AZ KrF-BARC SERIES和AZ ArF-BA
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