- 苏打基材 石英基材EZ8-S
详细信息
型号:EZ8-S
9、AZ DX5200P 系列应用于沟槽及通孔图形的超高分辨率KrF正型光刻胶:AZ DX2546P和AZ DX5200P
10、AZ P4000 系列超厚膜高感光度G线标准正型光刻胶AZ P4210 、AZ P4330、AZ P4400、AZ P4620 和AZ P4903
11、AZ 10XT 系列光刻胶应用于电镀工艺的超厚膜,高分辨率I线正型光刻胶:AZ 10XT(220cP)和10XT(520cP)
12、AZ PLP 系列应用于高精度电镀工艺的超厚膜正型光刻胶:AZ PLP-30和AZ PLP-40
13、AZ 顶部防反射涂层材料应用于超高分辨率图形加工的顶部防反射涂层:AZ AQUATAR 、AZ AQUATAR-45 、AZ AQUATAR-Ⅲ-45和 AZ AQUATAR-Ⅵ
14、Non PFOS和Non PFOA的顶部防反射涂层
15、AZ 底部防反"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”
450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm
*大尺寸(mm)
850*1200
特殊尺寸(mm)
按客户要求定做(XY=20~609mm)
基材厚度(mm)
1.6 2.3 3.0 4.8 7.8 8.0
2.3 3.0 5.0 6.4 8.0
铬膜类型
ARC Anti-Reflective Chrome
热性能(℃)
710℃
1730℃
温度收缩系数
8.1*10ˉ6(20~200 ℃)
5.0*10-7 /℃ (20~200℃)
透过率
>90%(T=2.3mm;l=400nm)
>90%(T=2.3mm;l=200nm)
折射率
1.52
1.46
垂直入射反射率
约8%(片面反射约4%)
约2%(片面反射约1%)
耐酸性能
H2SO4(80℃,99%) 0.1Å/min
H2SO4(80℃,98%) 0.0Å/min
耐碱性能
NaOH(Wt2%)0.8Å/min
NaOH(Wt2%)0.4Å/min
表面平整度
<20um(400*400*3.0mm)
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