- 特殊工艺用光刻胶AR-PC系列
详细信息
型号:AR-PC系列
12、AZ PLP 系列应用于高精度电镀工艺的超厚膜正型光刻胶:AZ PLP-30和AZ PLP-40
13、AZ 顶部防反射涂层材料应用于超高分辨率图形加工的顶部防反射涂层:AZ AQUATAR 、AZ AQUATAR-45 、AZ AQUATAR-Ⅲ-45和 AZ AQUATAR-Ⅵ
14、Non PFOS和Non PFOA的顶部防反射涂层
15、AZ 底部防反射涂层材料:AZ BARLi-Ⅱ、AZ KrF-BARC SERIES和AZ ArF-BARC SERIES
16、AZ RELACS 涂布材料,AZ R200 & R500 涂布材料
17、AZ 8100 系列光刻胶:AZ 8112和AZ8100DB5
18、辅助化学-
喷图用光刻胶,AR-P 1200( 正胶 ) , AR-N 2200 ( 负胶 )
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感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)
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胶膜表面平坦均匀 • 喷涂管道中不会产生气泡,喷涂时不易出现大液滴
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图形反转胶,可作为紫外正胶或负胶使用
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正胶工艺:正常曝光流程
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负胶工艺:通 过反转工艺实现
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感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)
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