KRi 射频离子源 RFICP 系列

射频离子源提供高能量, 低浓度的离子束, 离子源单次工艺时间更长, 适合多层膜的制备和离子溅镀镀膜

Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine 目前在售型号：
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485 analog
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485 Profibus
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485 Profibus

离子源型号	RFICP 40	RFICP 100	RFICP 140	RFICP 220	RFICP 380
离子束流	>100 mA	>350 mA	>600 mA	>800 mA	>1500 mA
离子动能	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V
栅极直径	4 cm Φ	10 cm Φ	14 cm Φ	22 cm Φ	38 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射