射频离子源 RFICP 380

大口径射频离子源, 3层栅极设计, 离子源栅极口径 30cm, 满足 300 mm (12英寸) 晶圆应用

Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine 目前在售型号：
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485 analog
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485 Profibus
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485 Profibus

型号	离子束动能	*大离子束流	栅极直径	离子束流形状
RFICP 380	100-1200 V	>1500 mA	38 cm Φ	平行, 聚焦, 散射