射频离子源 RFICP 100

适用于离子溅镀和离子蚀刻. 小尺寸设计但是可以输出 >350 mA 离子流.

Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine 目前在售型号：
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 CPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485 analog
数字型真空计 CPT 200 G ¼" RS-485 Profibus
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 RPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 RPT 200 DN 16 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 PPT 200 DN 16 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 PPT 200 DN 16 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 HPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 HPT 200 DN 40 CF-F RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 25 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 40 ISO-KF RS-485 Profibus
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485 analog
数字型真空计 MPT 200 DN 40 CF-F RS-485 Profibus

型号	离子束动能	*大离子束流	栅极直径	离子束流形状
RFICP 100	100-1200 V	>350 mA	10 cm Φ	平行,聚焦,散射