射频离子源 RFICP 140

紧凑设计离子源, 非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀

Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine
上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine, 总压力真空计, 真空测量范围 5E-10 至 2000 hPa, 数字式信号输出. 可以直接连接到计算机或 PLC. DigiLine 系列具有压电式, 皮拉尼式, 电容式, 冷或热阴极管式传感器. 数字型真空计均采用 RS-485 接口, *多可将 16 个真空计连接到专用控制器上. 还可根据您的实际需要选配 Profibus-DP, DeviceNet, Profinet 和 EtherCAT 接口或附加的带有两开关点和 LCD 显示器的模拟输出. 防护等级 IP54 和 M12 的连接器组件使数字真空计广泛应用于工业和研究行业. 

Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine 特点
真空测量范围 5E-10 至 2000 hPa
M12 插头连接器, 在恶劣环境中也能可靠运行
数据可通过 PC 或 SPS 读取
易安装
现场总线接口或带有作为选配件的两开关点和 LCD 显示器的模拟输出
压力值以数字传输, 免去曲线和换算
可通过集成与 HiPace 涡轮分子泵形成自动应用系统

Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine 主要应用行业
1. 硬质涂层
2. PVD
3. 太阳能电池生产
4. 空间模拟
5. 真空干燥/热处理
6. 电子束焊接
7. 表面镀膜
8. 聚变技术

型号	离子束动能	*大离子束流	栅极直径	离子束流形状
RFICP 140	100-1200 V	>600 mA	14 cm Φ	平行,聚焦,散射