- 进口单层Lift-off正性光刻胶 CJ2153
详细信息
品牌:进口 型号:CJ2153 -
- GaAs/GaN HEMT栅极、射频电极制备。
- MEMS传感器
- 悬臂梁、谐振腔金属结构(避免湿法腐蚀损伤微结构)。
- 高频器件互连
- 微波传输线、天线阵列的剥离成形(线宽≤1μm)。
- 研发与小批量生产
- 工艺简化显著降低试错成本。
与其他Lift-off胶对比
型号 结构 分辨率 工艺复杂度 适用场景 CJ2153 单层 ≤0.8μm ★☆☆☆☆ (低) 快速原型、中小批量 LOR双层胶 双层 ≤0.5μm ★★★☆☆ (中) 超精细图形(<0.5μm) PMMA电子束胶 单层 ≤10nm ★★★★☆ (高) 纳米器件(需电子束曝光) -