- 进口PMMA电子束正性光刻胶 CJ3110
详细信息
品牌:进口 型号:CJ3110 - 化学类型:主链断裂型正性电子束光刻胶
- 工作原理:通过电子束切断聚合物主链实现溶解差异
- 分辨率:可达10纳米级别(实际分辨率取决于设备性能)
- 适用厚度:覆盖50纳米至1000纳米范围(不同型号对应不同*佳厚度)
技术参数
参数类别 具体指标 数值范围 分子量 未明确指定 参考PMMA系列通常为50K-950K 灵敏度 未明确指定 典型PMMA胶灵敏度较低 分辨率 理论极限 <10纳米 对比度 未明确指定 通常高于15 抗蚀刻性 干法刻蚀 与SiO2选择比约1:1 热稳定性 玻璃化温度 约105℃ 推荐烘烤 工艺参数 180℃(烘箱1小时/热板5分钟) 应用领域
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纳米电子器件:
- 量子点结构制备
- 纳米线图案化
- 二维材料器件加工
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光学元件:
- 纳米光栅制作
- 超表面结构加工
- 波导器件制备
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科研应用:
- 实验室原型开发
- 微纳结构研究
- 新型材料表征
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特殊工艺:
- T-gate制造
- 晶圆减薄保护层
- 临时晶圆接合