• 进口PMMA电子束正性光刻胶 CJ3110

    详细信息

     品牌:进口  型号:CJ3110   
    厦门光刻胶   美国光刻胶
    • 化学类型‌:主链断裂型正性电子束光刻胶
    • 工作原理‌:通过电子束切断聚合物主链实现溶解差异
    • 分辨率‌:可达10纳米级别(实际分辨率取决于设备性能)
    • 适用厚度‌:覆盖50纳米至1000纳米范围(不同型号对应不同*佳厚度)

    技术参数

    参数类别 具体指标 数值范围
    分子量 未明确指定 参考PMMA系列通常为50K-950K
    灵敏度 未明确指定 典型PMMA胶灵敏度较低
    分辨率 理论极限 <10纳米
    对比度 未明确指定 通常高于15
    抗蚀刻性 干法刻蚀 与SiO2选择比约1:1
    热稳定性 玻璃化温度 约105℃
    推荐烘烤 工艺参数 180℃(烘箱1小时/热板5分钟)

    应用领域

    1. 纳米电子器件‌:

      • 量子点结构制备
      • 纳米线图案化
      • 二维材料器件加工
    2. 光学元件‌:

      • 纳米光栅制作
      • 超表面结构加工
      • 波导器件制备
    3. 科研应用‌:

      • 实验室原型开发
      • 微纳结构研究
      • 新型材料表征
    4. 特殊工艺‌:

      • T-gate制造
      • 晶圆减薄保护层
      • 临时晶圆接合
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