- 进口高温正性 PBO-806 series
详细信息
品牌:进口 型号:PBO-806 series 可耐受140℃高温烘烤 分辨率 亚微米级线宽 显影液 四甲基氢氧化铵碱性溶液 附着力 对氧化硅、多晶硅及多种金属材料良好 感光速度 适用于投影曝光和分步重复曝光 应用领域
高温正性光刻胶主要应用于:
- 半导体制造:大规模集成电路制造中的图形转移
- 电子元器件:精密电子元件的微细图形制作
- 光学机械加工:光学元件的精密加工
- MEMS系统:微机电系统的制造
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品牌:进口 | 型号:PBO-806 series |
可耐受140℃高温烘烤 | |
分辨率 | 亚微米级线宽 |
显影液 | 四甲基氢氧化铵碱性溶液 |
附着力 | 对氧化硅、多晶硅及多种金属材料良好 |
感光速度 | 适用于投影曝光和分步重复曝光 |
高温正性光刻胶主要应用于: