- 进口正性光刻胶SUN-502P
详细信息
品牌:进口 型号:SUN-502P - 刻蚀比可达0.875(胶 = 4.2:4.8)
- 热稳定性:120℃高温下保持形状不变
- 适用工艺:深刻蚀工艺,特别是7微米以上氮化镓刻蚀
- 曝光方式:适用于i-线或汞灯全谱曝光
- 图形特性:显影后侧边夹角为50-60°
- 溶剂安全性:采用安全性溶剂,环保无害
技术参数与组成
技术参数
参数类别 具体指标 数值范围 刻蚀比 胶 4.2:4.8 热稳定性 *高工作温度 120℃ 适用刻蚀深度 氮化镓刻蚀 ≥7微米 显影后角度 侧边夹角 50-60° 曝光光源 适用光源 i-线/汞灯全谱