- 进口紫外正性光刻胶SUN-100P系列
详细信息
品牌:进口 型号:SUN-100P系列 - 非化学放大型i-线正性光刻胶
- 分辨率:可达0.35微米HP(高分辨率)
- 基底处理:大部分情况下无需HMDS处理基底
- 工艺适应性:特别适应于高解析度干法刻蚀工艺
- 金属离子浓度:低于20ppb
- 曝光灵敏度:高
- 对比度:高
- 分辨率:高
- 光刻成品率:高
- 工艺宽容度:良好
主要组成成分
- 光引发剂:重氮萘醌磺酸酯(DQN)类化合物
- 感光树脂:线性酚醛树脂(Novolac)
- 溶剂:安全溶剂(具体成分未公开)
- 其他添加剂:可能包含匀染剂、表面活性剂等助剂