- 进口LOR光刻胶SUN-LOR001
详细信息
品牌:进口 型号:SUN-LOR001 - 精确控制:可在显影时精确控制undercut
- 清洗性能:容易清洗,减少工艺残留
- 稳定性:性能稳定,适合高精度制造工艺
- 配套方案:提供与LOR工艺配套的整套光刻胶解决方案
技术参数
虽然搜索结果中未提供SUN-LOR001的详细技术参数表,但根据光刻胶的一般组成和LOR工艺的特殊要求,可以推测其可能包含以下关键参数:
参数类别 可能指标 参考范围 分辨率 线宽控制 未明确指定 粘度 涂布性能 未明确指定 感光波长 曝光特性 未明确指定 显影特性 undercut控制 精确可控 附着力 基板结合力 未明确指定 耐蚀性 抗化学性 未明确指定