- 进口电子束光刻胶PMMA
详细信息
品牌:进口 型号:PMMA -
- 实现<10nm的高分辨率图形
- 适用于科研级纳米器件制备
- 用于原理样机开发和小批量生产
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金属剥离工艺:
- 通过溶解特性实现图形转移
- 常用于T-Gate结构制作
- 适用于多层金属剥离工艺
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特殊应用:
- 晶圆减薄工艺
- 微机电系统(MEMS)制造
- 量子点器件图案化
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品牌:进口 | 型号:PMMA |
金属剥离工艺:
特殊应用: