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- 进口电子束光刻胶EBL 6000系列
详细信息
品牌：进口 型号：EBL 6000系列 厦门光刻胶 美国光刻胶- 感光树脂：作为光刻胶的主体材料，通常采用PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)或HSQ(氢倍半硅氧烷)等电子敏感抗蚀剂
- 增感剂：提高光刻胶对电子束的敏感性
- 溶剂：调节光刻胶的粘度和涂覆性能
通过电子束与光刻胶的相互作用，引发分子链断裂或交联，改变其在显影液中的溶解度，经显影后形成所需图形3。不同型号的EBL 6000可能采用不同的配方组合以满足特定应用需求。
EBL 6000系列电子束光刻胶主要应用于以下领域：
- 光刻掩模版制作：为EUV光刻等量产技术提供高精度掩模版
- 先进原理样机开发：用于3nm以下制程研发、量子计算器件等前沿领域
- 纳米科学研究：二维材料器件、MEMS等纳米尺度器件的研制
- 小批量高精度加工：特别适合需要纳米级精度但产量不高的应用场景
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厦门芯磊贸易有限公司
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13394069946刻蚀液;蚀刻液;清洗液;增粘剂;显影液;粘着剂;;增附剂;灌封胶;MicroChem光刻胶;Dupont集团光刻胶 Merck集团光刻胶 标准物质、化学试剂、实验室耗材、
进口电子束光刻胶EBL 6000系列
页面价格仅供参考，具体请联系报价起批量 价格 - ≧1 瓶
￥20000.00
- 产品型号：EBL 6000系列
- 品 牌：进口
- 所 在 地：福建厦门
- 更新日期：2025-10-10
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