- 进口电子束光刻胶ma-N2400系列
详细信息
品牌:进口 型号:ma-N2400系列 - 超导纳米线器件:特别适用于超导纳米线单光子探测器的制造
- 多层异质结构:可用于多层器件的加工,相比HSQ更适合多层制造工艺
- 纳米科学研究:适用于需要高精度纳米图案的科研应用
- 微机电系统(MEMS):可用于复杂三维微结构的制造
与HSQ光刻胶的比较
对比项 ma-N2400 HSQ 去除方式 可使用更温和的溶剂 需要强腐蚀性试剂 多层工艺 更适合多层制造 可能损伤下层结构 分辨率 ≤100nm 类似 侧壁特性 陡峭 较平缓 工艺复杂度 相对简单 较复杂