- 进口紫外光刻胶-薄胶AZ 1500
详细信息
品牌:进口 型号:AZ 1500 - 敏范围:310-440nm紫外光谱,覆盖i(365nm)、h(405nm)和g(436nm)三条汞线
- 抗蚀膜厚度:0.5-3微米(可通过旋涂速度调节)
- 树脂基体:酚醛树脂或聚羟基苯乙烯(PHS)及其衍生物
- 感光剂:重氮萘醌(DNQ)类化合物(含量5%-30%)
- 溶剂体系:主要使用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)
- 高感光度:曝光后显影速度快,适合高产出率制造
- 优异附着力:特别为湿法刻蚀工艺优化,与多种基材(硅、玻璃、金属等)结合牢固
- 工艺宽容度:显影条件范围宽,可适应不同工艺需求
- 兼容性:
- 与所有常见显影剂(基于NaOH、KOH或TMAH)兼容
- 与所有常见剥离剂(如AZ 100去除剂、有机溶剂或碱性溶液)兼容
- 环保特性:相比前代产品,采用更环保的溶剂配方