- 进口Lift off光刻胶RN 246系列
详细信息
品牌:进口 型号:RN 246系列 - 负性光刻胶,适用于lift-off工艺
- 结构特点:具有under cut结构,侧壁角度>90°
- 厚度范围:典型厚度2.5-15μm,适合高深宽比结构
- 分辨率:可达140nm级别
- 耐化学性:优于正性光刻胶,适合需要高耐蚀性的应用场景
根据光刻胶的一般组成原理,RN 246系列可能包含以下成分:
- 树脂:提供光刻胶的机械与化学性质(如粘附性、胶膜厚度、热稳定性等)
- 光敏剂:对光能发生光化学反应
- 溶剂:保持光刻胶的液体状态
- 添加剂:可能包括改善光刻胶特性的染色剂等
关键工艺参数
- 光刻胶厚度/金属厚度比:建议≥3的经验比例
- 沉积方式:推荐使用蒸镀而非溅射的金属沉积方式
- 显影条件:需要特定溶剂溶解未曝光区域
- 温度控制:前烘、后烘温度对under cut结构形成有重要影响