• 进口Lift off光刻胶RN 246系列

    详细信息

     品牌:进口  型号:RN 246系列   
    厦门光刻胶   美国光刻胶
    • 负性光刻胶,适用于lift-off工艺
    • 结构特点‌:具有under cut结构,侧壁角度>90°
    • 厚度范围‌:典型厚度2.5-15μm,适合高深宽比结构
    • 分辨率‌:可达140nm级别
    • 耐化学性‌:优于正性光刻胶,适合需要高耐蚀性的应用场景

     

    根据光刻胶的一般组成原理,RN 246系列可能包含以下成分:

    • 树脂‌:提供光刻胶的机械与化学性质(如粘附性、胶膜厚度、热稳定性等)
    • 光敏剂‌:对光能发生光化学反应
    • 溶剂‌:保持光刻胶的液体状态
    • 添加剂‌:可能包括改善光刻胶特性的染色剂等

    关键工艺参数

    • 光刻胶厚度/金属厚度比‌:建议≥3的经验比例
    • 沉积方式‌:推荐使用蒸镀而非溅射的金属沉积方式
    • 显影条件‌:需要特定溶剂溶解未曝光区域
    • 温度控制‌:前烘、后烘温度对under cut结构形成有重要影响
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