- 进口Lift off光刻胶ma-N 400系列
详细信息
品牌:进口 型号:ma-N 400系列 - 对紫外光(UV)敏感,适用于i-line(365nm)曝光
- 化学类型:负性光刻胶,采用化学放大技术
- 工艺兼容性:专为lift-off工艺优化,可实现高精度图形转移
- 耐刻蚀性:具有良好的耐等离子刻蚀性能
- 厚度范围:可通过旋涂工艺实现0.5-6μm的膜厚控制23
技术参数
参数类别 具体指标 数值范围 光敏波长 曝光光源 i-line(365nm) 光刻胶类型 化学性质 负性光刻胶 工艺类型 适用工艺 lift-off工艺 膜厚范围 旋涂厚度 0.5-6μm 分辨率 *小特征尺寸 未明确指定 对比度 显影特性 高对比度 耐刻蚀性 等离子刻蚀 良好耐性 -
微电子制造:
- 用于制作金属电极和互连线路
- 适用于MEMS器件的图形转移工艺
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纳米加工:
- 用于制备纳米结构器件
- 适用于高精度图案化需求的应用
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科研领域:
- 高校和研究所的微纳加工实验
- 新型器件原型开发