- 进口Lift off光刻胶LOL2000
详细信息
品牌:进口 型号:LOL2000 -
艺适应性:
- 专门优化用于金属剥离工艺
- 形成under cut结构,便于后续剥离
- 光刻胶厚度/被剥离金属厚度≥
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镀膜兼容性:
- 推荐使用蒸镀方式而非溅射镀膜
- 避免金属将光刻胶断面包覆导致剥离困难
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图形质量:
- 剥离后形成的金属电极边缘光滑
- 避免毛刺和不规则边缘
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微电子制造:
- 制作金属电极
- 半导体器件互连结构
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微纳加工:
- MEMS器件制造
- 微传感器图案化
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科研应用:
- 实验室微纳结构研究
- 新型器件原型开发
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