- 进口宽带厚胶SPR220
详细信息
品牌:进口 型号:SPR220 - 光刻类型:正性光刻胶
- 适用波长:宽带、G线和I线兼容
- 膜厚范围:1-30μm,单次涂布即可实现
- 感光速度:210 mJ/cm² (I线)
- 应用领域:MEMS制造、凸点工艺等厚膜应用
参数类别 具体指标 数值范围 膜厚范围 单次涂布 1-30μm 感光速度 I线 210 mJ/cm² 分辨率 1.1μm线宽/间距 @4.0μm膜厚 显影兼容性 支持MIF和MIB显影剂 电镀特性 支持Au、Cu和Ni/Fe电镀 无裂纹 储存条件 避光保存 -20℃ - MEMS制造:用于微机电系统结构的图形化
- 凸点工艺:在半导体封装中用于凸点制作
- 厚膜光刻:需要10μm以上厚膜的应用场景
- 电镀工艺:作为电镀前的光刻掩模