• 进口宽带厚胶SPR220

    详细信息

     品牌:进口  型号:SPR220   
    厦门光刻胶    美国光刻胶
    • 光刻类型‌:正性光刻胶
    • 适用波长‌:宽带、G线和I线兼容
    • 膜厚范围‌:1-30μm,单次涂布即可实现
    • 感光速度‌:210 mJ/cm² (I线)
    • 应用领域‌:MEMS制造、凸点工艺等厚膜应用
    参数类别 具体指标 数值范围
    膜厚范围 单次涂布 1-30μm
    感光速度 I线 210 mJ/cm²
    分辨率 1.1μm线宽/间距 @4.0μm膜厚
    显影兼容性 支持MIF和MIB显影剂  
    电镀特性 支持Au、Cu和Ni/Fe电镀 无裂纹
    储存条件 避光保存 -20℃

     

    1. MEMS制造‌:用于微机电系统结构的图形化
    2. 凸点工艺‌:在半导体封装中用于凸点制作
    3. 厚膜光刻‌:需要10μm以上厚膜的应用场景
    4. 电镀工艺‌:作为电镀前的光刻掩模
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