- 进口美国光刻胶纳米压印胶mr-NIL 6000E
详细信息
品牌:进口 型号:mr-NIL 6000E 固化方式 热固化/UV固化 双功能 涂布厚度 工作范围 0.1-150nm 玻璃化温度 固化前Tg 40℃ 残余胶层 *小厚度 10nm 刻蚀性能 Plasma阻抗 优于Novolak基光胶 加工方式 压印工艺 等温加工(压印与脱模同温) -
纳米图形制造:
- 用于制造纳米级图案结构
- 适用于高精度微纳加工需求
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刻蚀工艺:
- 作为刻蚀掩模材料
- 提供优异的刻蚀选择比
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多层系统:
- 适用于多层纳米结构堆叠
- 可实现高保真度图案转移
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