- 进口彩色光刻胶染色SU-8
详细信息
品牌:进口 型号:染色SU-8 -
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- 使用Piranha溶液(硫酸+过氧化氢)或反应离子蚀刻(RIE)清洗
- 涂覆HMDS(六甲基二硅氮烷)增强附着力
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涂胶工艺:
- 旋涂法:分段加速(500 rpm铺胶,1000-4000 rpm控制厚度)
- 喷雾涂布:适用于深孔/高台阶结构
- 线棒涂布:适用于大面积基板
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染色处理:
- 将染料溶解在GBL(gamma-丁内酯)溶剂中
- 通过浸渍或旋涂方式将染料引入SU-8胶层
- 控制染色时间和温度以获得均匀染色效果
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