- 进口RDN系列光刻胶RDN-2035P
详细信息
品牌:进口 型号:RDN-2035P -
分辨率:RDN-2035P能够形成的关键尺寸(CD)较小,适合高精度图形转移,这是衡量光刻胶区分相邻图形特征能力的重要指标1。
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对比度:该产品具有优异的对比度特性,曝光区到非曝光区过渡陡峭,能够形成侧壁陡峭的图形,这对于提高图形转移精度至关重要
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敏感度:RDN-2035P对特定波长光(如深紫外光DUV)具有良好响应,能够在较低曝光能量下形成良好图形,这对于提高生产效率、降低能耗具有重要意义
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粘滞性:该产品的粘滞性可通过溶剂含量进行调节,从而精确控制涂布厚度,满足不同工艺需求
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粘附性:RDN-2035P与硅片等衬底结合牢固,能够经受后续刻蚀、离子注入等工艺考验,确保图形转移的完整性
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抗蚀性:在刻蚀工序中,该产品能够保持结构完整,有效保护衬底表面不受损伤
- 涂布工艺:可采用旋涂法、喷雾涂布等多种涂布方式,适应不同基板要求
- 曝光兼容性:兼容多种曝光光源,包括G线(436nm)、I线(365nm)等传统紫外光源
- 显影特性:与标准显影液配合良好,显影窗口宽,工艺容差大
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