- 进口NR系列光刻胶NR9-6000PY
详细信息
品牌:进口 型号:NR9-6000PY -
- 适用于微电子器件制造中的高精度图形转移
- 可用于石墨烯微米带的光刻制作
- 应用领域:集成电路、半导体分立器件、微机电系统(MEMS)等
- 属于i线曝光用粘度增强负胶系列(NP9系列)
- 同类产品:与NP9-250P、NP9-1000P、NP9-3000P等属于同一技术路线产品
- 特性:作为负性光刻胶,需通过曝光后交联反应实现图形转移,具有抗刻蚀性
- 工艺参数:需配合i线(365nm)曝光设备使用,烘烤温度建议控制在110°C以下以避免热交联影响显影
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