- 进口NR系列光刻胶NR77-1500PY
详细信息
品牌:进口 型号:NR77-1500PY - 分辨率:可达0.8μm(与曝光设备相关)
- 侧壁角度:85-90°(标准工艺条件下)
- 抗刻蚀性:
- 干法刻蚀选择比≥1:3(Si/SiO₂)
- 湿法腐蚀耐受常见酸碱溶液
- 半导体制造:分立器件、功率IC封装
- MEMS加工:微机械结构图形化
- 先进封装:RDL重布线层制作
- 科研领域:微纳器件原型开发
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品牌:进口 | 型号:NR77-1500PY |