- 进口NR系列光刻胶NR77-6000PY
详细信息
品牌:进口 型号:NR77-6000PY - 技术突破:
- 作为玻璃湿法腐蚀(HF系)的掩模层
- 实现50μm厚玻璃的通孔光刻(侧壁角度≥80°)
- 创新案例:
- 硅光芯片的光栅耦合器制作
- 量子芯片的超导布线层图案化
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- 扇出型封装(Fan-Out WLP)的重布线层(RDL)制作
- 2.5D/3D封装中硅中介层(Interposer)的图形化
- 技术优势:
- 15μm厚胶层可实现高深宽比通孔(AR>5:1)
- 优异的热稳定性(≤110℃),适合后续电镀/退火工艺
- 技术突破: