- 进口Lift off光刻胶LOR1A
详细信息
品牌:进口 型号:LOR1A 负性双层光刻胶(专为Lift-off设计) 型号 LOR1A(常配套使用正胶如S1813) 生产商 美国MicroChem(现被Kayaku收购) 溶剂 丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA) 粘度 ~35cP(25℃) 推荐膜厚 0.5-1.2μm(旋涂条件:3000-5000rpm) - 毫米波天线:制作20μm间距的金微带线
- 超导电路:NbN薄膜的亚微米图形化
(2)生物传感器
- 微电极阵列:50μm直径金圆盘电极
- 纳米孔芯片:Cr/Au复合膜的精确图形
(3)科研特殊需求
- 量子点定位:制作100nm间隙电极对
- 二维材料接触:石墨烯器件的非破坏性电极