- 进口Lift off光刻胶 LOR7A
详细信息
品牌:进口 型号:LOR7A -
解决方案:等离子体灰化预处理(O₂/CF₄=4:1)
▸ 改善:底切角度从70°→45°可控 -
高分子残留
▸ 创新清洗:超临界CO₂ + 乙酸乙酯共溶剂
未来演进
- AI驱动工艺优化
▸ 实时监控:SEM图像深度学习边缘检测
▸ 预测模型:神经网络关联溶胀率与温度曲线
-
|
品牌:进口 | 型号:LOR7A |
解决方案:等离子体灰化预处理(O₂/CF₄=4:1)
▸ 改善:底切角度从70°→45°可控
高分子残留
▸ 创新清洗:超临界CO₂ + 乙酸乙酯共溶剂