- 进口Lift off光刻胶LOR10A
详细信息
品牌:进口 型号:LOR10A - 超导纳米线:NbTiN的100nm线宽图形化
- 量子点接触:制作侧栅电极(间隙<50nm)
- TSV再布线层:配合厚胶实现5μm铜柱lift-off
- 硅光芯片:制作45°反射镜的金膜结构
场景 LOR10A解决方案 高温退火(300℃) 预烘烤200℃/10min固化 酸性电镀环境 增加SiNx硬掩模保护层
|
品牌:进口 | 型号:LOR10A |
场景 | LOR10A解决方案 |
---|---|
高温退火(300℃) | 预烘烤200℃/10min固化 |
酸性电镀环境 | 增加SiNx硬掩模保护层 |