- 进口RDN系列光刻胶RDN-91
详细信息
品牌:进口 型号:RDN-91 - 逻辑芯片:适用于7nm及以上制程的金属层光刻,如中段制程(MOL)互连
- 存储器件:用于DRAM电容阵列和3D NAND的垂直通孔图案化
- 硅通孔(TSV):高深宽比结构的光刻,支持再布线层(RDL)制作
- 异构集成:用于硅光芯片的波导耦合器光刻
- 量子器件:超导量子比特的电极剥离工艺(参考LOR3A类似应用)
- Micro-LED:透明电极的lift-off制程,提升良率至99%以上
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品牌:进口 | 型号:RDN-91 |