- 进口Dupont集团光刻胶HTIN 683
详细信息
品牌:进口 型号:HTIN 683 - 曝光波长:I-line 365nm
- 技术节点:适用于MEMS及微米器件制造
- 工艺能力:
▸ 关键尺寸(CD):5μm@厚度40μm
▸ 厚度范围:8-60μm(可扩展至0.3-20μm) - 树脂体系:PHS(酚醛清漆树脂)化学放大胶,支持正胶/负胶双模式
(2) 性能优势
参数 HTIN 683表现 行业标准对比 深宽比 >10:1(40μm厚度下) 普通胶3-5: 透光率 365nm波长下>90% 常规胶80%-85% 吞吐量 单次曝光面积≥200mm² 同类产品150mm²