• 进口Dupont集团光刻胶HTIN 683

    详细信息

     品牌:进口  型号:HTIN 683   
    厦门光刻胶      美国光刻胶
    • 曝光波长‌:I-line 365nm
    • 技术节点‌:适用于MEMS及微米器件制造
    • 工艺能力‌:
      ▸ 关键尺寸(CD):5μm@厚度40μm
      ▸ 厚度范围:8-60μm(可扩展至0.3-20μm)
    • 树脂体系‌:PHS(酚醛清漆树脂)化学放大胶,支持正胶/负胶双模式

    (2) 性能优势

    参数 HTIN 683表现 行业标准对比
    深宽比 >10:1(40μm厚度下) 普通胶3-5:
    透光率 365nm波长下>90% 常规胶80%-85%
    吞吐量 单次曝光面积≥200mm² 同类产品150mm²
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