- 进口KMPR 1000系列KMPR 1005
详细信息
品牌:进口 型号:KMPR 1005 耐化学性 耐溶剂型 耐低温(4K)及耐辐射 应用场景 激光制版、常规微纳加工 量子器件、射频器件、极端环境 工艺复杂度 常规lift-off工艺 需超临界CO₂清洗等特殊工艺
(1) 激光制版
- 案例:用于高精度掩模版制作,支持CTS(计算机直接制版)技术
- 优势:图形边缘锐利,适合重复性图案批量生产
(2) 微机电系统(MEMS)
- 结构加工:制作金属微电极阵列(如Au/Cr多层结构)
- 工艺适配:与深反应离子刻蚀(DRIE)工艺兼容