• 进口KMPR 1000系列KMPR 1015

    详细信息

     品牌:进口  型号:KMPR 1015   
    厦门光刻胶    美国光刻胶
    • 分辨率‌:支持亚微米级图形(具体数值需参考厂商数据表)
    • 厚度范围‌:通常为0.5-10μm(可定制)
    • 粘附性‌:对硅、玻璃等基材有良好附着力
    • 耐化学性‌:耐酸、耐碱及有机溶剂‌

    • 用于晶圆级封装(WLP)的再布线层(RDL)图形化
    • 高深宽比结构的lift-off工艺(如TSV通孔电极)‌

    (2) MEMS器件

    • 制作微机械结构的牺牲层(如陀螺仪、加速度计)
    • 支持三维非平面基板加工(台阶高度差≤10μm)‌

    (3) 科研领域

    • 二维材料器件(石墨烯、过渡金属硫化物)的电极制备
    • 纳米光子学结构(等离激元天线、超表面透镜)‌
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