- 进口KMPR 1000系列KMPR 1015
详细信息
品牌:进口 型号:KMPR 1015 - 分辨率:支持亚微米级图形(具体数值需参考厂商数据表)
- 厚度范围:通常为0.5-10μm(可定制)
- 粘附性:对硅、玻璃等基材有良好附着力
- 耐化学性:耐酸、耐碱及有机溶剂
- 用于晶圆级封装(WLP)的再布线层(RDL)图形化
- 高深宽比结构的lift-off工艺(如TSV通孔电极)
(2) MEMS器件
- 制作微机械结构的牺牲层(如陀螺仪、加速度计)
- 支持三维非平面基板加工(台阶高度差≤10μm)
(3) 科研领域
- 二维材料器件(石墨烯、过渡金属硫化物)的电极制备
- 纳米光子学结构(等离激元天线、超表面透镜)