- 进口KMPR 1000系列KMPR 1035
详细信息
品牌:进口 型号:KMPR 1035 -
制作高深宽比硅通孔(TSV)掩模
▸ 案例:陀螺仪金电极阵列(台阶高度差≤10μm) -
先进封装:
▸ 异构集成中的lift-off工艺(如硅光芯片光栅耦合器)
▸ 突破:解决电镀液渗透导致的溶胀问题
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二维材料器件:
▸ 无损制作石墨烯1-2-1接触电极(Cr/Au/Cr)
▸ 迁移率保持>10,000 cm²/V·s1 -
纳米光子学:
▸ 制备等离激元天线(50nm金纳米棒阵列)
▸ 场增强>100倍
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