- 进口SU-8 2000系列SU-82000.5
详细信息
品牌:进口 型号:SU-82000.5 - 微结构加工:高纵横比(>20:1)的深槽/柱结构(如微流控芯片)
- 案例:
▸ 制作PDMS模具的SU-8母版(表面粗糙度<5nm)
▸ 惯性传感器(陀螺仪/加速度计)的机械结构 - 再布线层:作为TSV(硅通孔)的绝缘层或临时键合层
- 优势:耐高温(>200℃)且与金属(Cu/Au)附着力强
- 毫米波器件:低介电常数(ε≈3.0)适合高频电路基板
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品牌:进口 | 型号:SU-82000.5 |